整個無塵室是一個比較龐大的系統，這個系統的龐大不僅僅是體現在廠房面積的龐大，更是體現在各個系統之內的功能和結構的劃分上。各種不同功能的房間，各種不同性能的凈化設備等等一起組成了一套無塵室。但是這么多這么復雜的系統也還是有可能導致無塵室中的塵埃量不合格。其主要體現在無塵室中房間的密封性、塵埃過濾設備的質量和安裝方式、房間在裝修完成后的清潔工作等。
    而在無塵室完成后對于房間密封性的檢查實際上可以說是較為重要的環節，連接潔凈室的管道等設備在建設無塵室的時候就首要保證密封性；而塵埃過濾裝置質量不過關或者安裝不正確則會導致送進凈化房間內的空氣塵埃沒有得到有效的排除。上述這些原因很值得無塵室中操作人員的注意。