無塵室的構造
無塵室的構造主要有5個部分:
1、無塵室潔凈度
無塵室的潔凈度用潔凈等級來表示,分別為10級、100級、1000級、10,000級、100,000級。數值越小則凈化度越高,例如:100級高于 1000級、1000級高于10000級等。在不同級的無塵室中,1立方英尺體積中所含的粉塵數不同(指粒度> 0.3um的粉塵)。
以萬級無塵室為例,其空氣的潔凈度比100級無塵室低100倍。潔凈級別高的無塵室內空氣壓力也高。一旦打開不同級別間無塵室的門,空氣會從潔凈度高的室流向潔凈度低的室,這樣高潔凈度的室不會被污染。盡管如此,還是應避免經常打開不同級別無塵室間的門。
2、無塵室的構造方式
氣流方法
A)垂直氣流型( Class 1~100 )
B)水平氣流型 ( Class 100 )
C)亂流型 ( Class 1,000~100,000 )
D)混流型( Class 1,000~100,000 )
4、風機過濾器系統
FFU為低噪音、高效率的除塵系統,能夠方便的為無塵室提供高質量的過濾空氣。
風機過濾單元系統
安裝在無塵室天花板龍骨架上的直流FFU系統
5、無塵室的必要性
為了避免生產過程中出現污染和腐蝕,空氣當中的細小微粒和微生物數量必須減到較小,于是,無塵室技術現在成為了許多工業的基本要求。
無塵室設備用于微電子工業、半導體、精密機械、制藥業、塑料制品和食品加工業等各個領域。